Российская электроника достигла нового этапа в производстве микросхем

Микроэлектронный холдинг Элемент несколько лет прорабатывал вопрос строительства завода по производству чипов по топологии 65 нм Однако так и не нашел финансирования При этом группа еще в 2014 г пыталась освоить эту технологию с помощью европейских коллег но из за санкций завершить освоение не удалось www cnews ru news top 2025 12 12 v rossii planirovali postroit

Зеленоградские предприятия НИИМЭ и НИИТМ собрали первые в России установки для ключевых операций производства микросхем В нашем городе завершили разработку и сборку первых в России кластерных систем для процессов плазмохимического осаждения ПХО и плазмохимического травления ПХТ оборудование без которого невозможно современное производство микросхем НИИМЭ обеспечил инфраструктуру и испытания включая чистые помещения и отработку процессов а НИИТМ разработал само оборудование и участвовал в испытаниях На фото их руководители Александр Кравцов и Михаил Бирюков Подробности ПХО это нанесение тонких диэлектрических плёнок с помощью плазмы в промышленности близкий термин PECVD а ПХТ плазменное вытравливание слоёв по рисунку после литографии Это базовые операции на которых держатся многие шаги техпроцесса без осаждения и травления нельзя построить слоёный пирог микросхемы и сформировать структуры нужной геометрии Кластерная архитектура позволяет объединять несколько технологических камер и перемещать пластины между ними без контакта с воздухом под вакуумом что считается мировым стандартом для таких операций Установки рассчитаны на обработку кремниевых пластин диаметром 200 и 300 мм и могут использоваться в линиях для выпуска микросхем по нормам до 65 нм Полученные базовые процессы и модульная платформа задел для адаптации под существующие линии и для движения к более современным техпроцессам включая 28 нм Отдельный смысл проекта заключается в переходе на 300 мм пластины у них примерно в 2 25 раза больше площадь чем у 200 мм а значит выше потенциальный выход кристаллов с одной пластины и лучше экономика производства при прочих равных В пресс релизах проекта звучит тезис что российские организации вошли в пятёрку компаний в мире с компетенциями такого класса Независимого публичного рейтинга который подтверждал бы именно такую формулировку в открытых источниках найти не удалось это скорее оценка авторов проекта При этом понятно с каким классом техники сравнивают разработку в мире такие установки для нанесения слоёв и плазменного травления на 300 мм пластинах делают в основном крупнейшие поставщики оборудования для фабрик микросхем например Applied Materials Lam Research и Tokyo Electron Что это даст Зеленограду Для города это история не столько про конкретное железо сколько про закрепление здесь редкой компетенции по разработке оборудования для одного из ключевых процессов в микроэлектронике Если установки пойдут в внедрение и серию это означает и новые заказы для зеленоградских предприятий производство сервис модернизацию обучение персонала и кооперацию с поставщиками компонентов zelenogradru

Следующая остановка 65 й нанометр Российская электронная промышленность сделала важный шаг к освоению выпуска микросхем по топологическим нормам 65 нм на кремниевых пластинах диаметром 300 мм с возможностью использования пластин диаметром 200 мм Разработаны и произведены установки плазмохимического осаждения ПХО и плазмохимического травления ПХТ Это значимые звенья в технологической цепочке производства интегральных схем на которые приходится значительная его часть И что крайне важно 65 нм это не предел возможно уменьшение топологических норм до уровня 28 нм и ниже за счет дополнительных настроек и модернизации оборудования Проект реализован совместными усилиями Научно исследовательского института молекулярной электроники ННИМЭ и Научно исследовательского института точного машиностроения НИИТМ Оба института входят в группу компаний Элемент которая объединяет более 30 предприятий отрасли в том числе в ее состав входит завод Микрон крупнейший российский производитель микроэлектронной продукции ГК была создана в 2019 году на базе активов АФК Система и госкорпорации Ростех для консолидации отрасли микроэлектроники с целью создания отечественной электронной продукции Монокль главное о русском бизнесе и не только Подписаться

Ежедневные покупки становятся приятнее, когда платишь меньше за то, что любишь.

В России чуть было не построили завод по производству микрочипов но не построили Подготовка к старту строительства велась несколько лет реализовать проект взялся крупнейший в России холдинг по производству микроэлектроники Элемент создан на базе активов АФК Система и Ростеха Однако найти денег на завод под кодовым названием Волга который должен был появиться в ОЭЗ Иннополис в Татарстане так и не удалось Стоимость строительства оценивалась в несколько десятков миллиардов рублей В случае успеха завод мог выпускать чипы по топологии 65 нм на пластинах 300 мм Или не мог т к Элемент в целом не до конца освоил технологию 20 летней давности Были надежды что производственную линию российской компании поставят европейцы а они из за санкций отказались В планах по развитию микроэлектронной промышленности РФ за реализацию которых отвечает правительство Михаила Мишустина структуры Элемента должны были к 2028 году начать серийный выпуск этих стареньких микрочипов Видимо снова придется сдвигать все сроки вправо neoreshkins

Открытие позволит создать полную линейку оборудования для интегральных схем Российская электронная промышленность сделала важный шаг к освоению выпуска микросхем по топологическим нормам 65 нм на кремниевых пластинах диаметром 300 мм с возможностью использования пластин диаметром 200 мм Учеными Научно исследовательского института молекулярной электроники ННИМЭ и Научно исследовательского института точного машиностроения НИИТМ разработаны и произведены установки плазмохимического осаждения ПХО и плазмохимического травления ПХТ Это значимые звенья в технологической цепочке производства интегральных схем на которые приходится значительная его часть Сегодня мы закрыли для 300 миллиметрового производства с топологическими нормами до 65 нанометров направления по плазмохимическому травлению и осаждению Коллеги занимаются фотолитографией у нас ведутся работы по созданию установки ионной имплантации Постепенно формируется пул оборудования который позволит собирать отечественные линейки оборудования для производства микроэлектроники отметил генеральный директор НИИМЭ Александр Кравцов

Как рынок российской электроники формирует процесс импортозамещения в отрасли Постепенно отрасль переходит к наращиванию собственных мощностей За последние два года на российском рынке появились новые производственные линии разрабатываются отечественные материалы и оборудование Так АО Микрон выпускает более 900 типономиналов микросхем с наиболее современными топологическими нормами до 90 нм Например компания работает над общепромышленным микроконтроллером MIK32 Амур с ядром на открытой архитектуре RISC V и первой полностью отечественной SIM картой для M2M и абонентских устройств Фото Антон Новодережкин ТАСС Подписаться niiet Поддержать канал